IMTminafab
Institutul National pentru Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti
Institutul activeaza in domeniul micronanotehnologiilor aplicate.
IMT a fost infiintat in 1993 si a devenit institut national in 1996, acumuland o experienta de 20 de ani in tehnologia microsistemelor si dispozitivelor – microsisteme si micro-nanostructuri senzitive la factori fizici, chimici, biologici; dispozitive si circuite pentru RF si THz; fotonica si nanoelectronica; microfluidica; microactuatori. Aplicatiile principale abordate sunt din urmatoarele domenii: comunicatii, transport, mediu, energie, biomedicina si sanatate. IMT a coordonat sau participat ca partener la un numar de 25 de proiecte FP7 si tip-FP7 (ENIAC, ERA-NET etc).
Centrul de micronanofabricatie IMT-MINAFAB este o facilitate experimentala recent renovata si in extindere, care acopera tot ciclul de dezvoltare pentru micronanosisteme si dispozitive: proiectare-modelare-simulare, procese de material, caracterizari complexe, integrare de dispozitiv/sistem, testari de fiabilitate. IMT-MINAFAB contine spatii de camera alba de diverse clase (peste 600mp) si include zone de realizare a mastilor litografice, micro-nanolitografie, procesari si depuneri fizice si chimice etc.
Servicii si produse
- fabricatie de micro/nanosisteme si dispozitive
- analize si caracterizari complexe de suprafete, filme, cristale, nanostructuri
- proiectare, modelare, simulare de microsisteme si materiale
- servicii complexe de CDI – de la stadiul de CAD/CAE, pana la incercari complexe de fiabilitate
Tehnologii speciale:
- nanolitografie cu fascicul de electroni; litografie soft si replicare
- rapid prototyping: 3D printing (sinterizare, polimerizar), ink-jet cu precursori metalici, dip-pen
- caracterizari nanomecanice ale suprafetelor si acoperirilor
- proiectare si realizare de masti fotolitografice
- corodari de precizie asistate de plasma (RIE, DRIE)
- realizare de matrici moleculare (microarray spotting)
- microscopie si analiza de baleiaj (SEM, AFM, STM, NSOM, SECM)
- analize de difractometrie raze X (cristalinitate, proprietati ale filmelor subtiri, pulbere etc.)
- masuratori si caracterizari electrice direct pe placheta (pana la 110 GHz)
- spectroscopie (Raman, fluorescenta, Fourier, EIS, elipsometrie)
- testari la factori combinati (mecanici, termici, electrici, presiune, umiditate)
- analize de nanoparticule in dispersie
- realizare si/sau caracterizare de sisteme microfluidice
- simulare de fenomene fizice cuplate (electric, termic, mecanic)
Contact
- Adresa: Str. Erou Iancu Nicolae 126A, Voluntari, Ilfov 077190
- Telefon: +40-21-269.07.70 / Fax:+40-21-269.07.72
- Email contact: adrian.dinescu@imt.ro
- Site web: www.imt.ro